HRD 콘텐츠
로그인
USLI공정기술
- 담당교수
- 오환술
- 강의수
- 14
- 수강
- 1423
- 제작연도
- NCS분류
- 공학>전기ㆍ전자>전자공학
- 강의설명
- 0.18um급 실리콘 바탕의 CMOS공정기술을 위한 제조공정의 설계 기법을 익히기 위해 먼저 제조공정시 필요한 기본기술인 실리콘 웨이퍼와 제조공정 및 웨이퍼 공정시 오염제어 및 웨이퍼내 결정결함을 다룬다. 그후 제조공정을 위한 챔버내 가스 흐름도의 제어 방법을 다룬후 0.18um CMOS 집적회로 제조공정 기술을 위한 공정 흐름도를 설계한다. CMOS설계 공정기술이 끝나면 단위공정기술을 익힌다. ULSI급 공정에 필요한 단위공정 기술로는 산화공정, 증착공정과 금속증착 공정을 다룬다. 시간 여유가 나면 포토공정을 다룬다.
