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MEMS 입문
- 담당교수
- 전종업
- 강의수
- 14
- 수강
- 831
- 제작연도
- NCS분류
- 공학>기계ㆍ금속>기계공학
- 강의설명
- 마이크로에서 나노크기의 feature size를 갖는 초소형기전시스템(MEMS, Micro Electro Mechanical Systems)의 설계, 이론 및 이의 제작을 위한 각종 마이크로머시닝기술에 대하여 강의한다. 반도체 제작에 사용되는 각종 공정의 기본적인 이해와 MEMS 구조물 제작에 필요한 새로운 제작기술들에 대하여 소개하고 MEMS 기술로 만들어진 각종 마이크로 센서 및 액추에이터, 그리고 그 응용에 대하여 강의한다.
